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微型探針冷熱臺上蓋與底殼構成一個可抽真空的密封腔，亦可內充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結霜，或高溫下氧化。

半導體冷熱臺腔內可以充入保護氣體或抽真空（依據不同型號），來防止樣品在負溫下結霜。

顯微鏡冷熱臺上蓋與底殼構成一個氣密腔，可往內充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結霜，或高溫下氧化。此外冷熱臺帶有可從密封腔外移動樣品的XY樣品微分移動尺。

微型線軌探針冷熱臺上蓋與底殼構成一個可抽真空的密封腔，亦可內充入氮氣等保護氣體，來防止樣品在負溫下結霜，或高溫下氧化。